반도체 제조용 루츠 스크류 진공 펌프 유닛

루츠 스크류 진공 펌프 유닛은 루츠 펌프와 스크류 펌프의 장점을 결합하여 까다로운 산업 및 실험실 응용 분야를 위한 청정하고 효율적이며 오일 프리 진공 솔루션을 제공합니다. 갭 씰 설계와 윤활유가 없어 작동 전반에 걸쳐 높은 순도와 탁월한 성능을 유지합니다.

루츠 스크류 진공 펌프 유닛의 작동 원리

• 스크류 진공 펌프(예비 단계):프리스테이지 펌프 역할을 수행하며 높은 펌핑 속도와 낮은 배기 압력을 제공합니다. 정밀한 스크류 간극을 통한 기계적 압축으로 효율적이고 저소음, 저진동 작동을 보장합니다.
• 루츠 진공 펌프(본/중간 단계):동기 회전하는 이중 로터가 흡입실에서 배기실로 배기 가스를 전달합니다. 갭 씰링으로 오일 오염을 방지하여 청정 진공 환경을 유지합니다.
• 직렬 운전:두 펌프가 직렬로 작동하며, 스크류 펌프는 진공도를 높이고 루츠 펌프는 안정적이고 지속적인 펌핑 효율을 보장합니다.

성능 장점

1. 에너지 절약:펌핑 속도와 진공도의 최적화된 비율은 전력 소비를 줄여 기존 진공 시스템보다 에너지 효율이 뛰어납니다.
2. 고효율:90% 이상의 펌핑 효율을 달성하여 다양한 공정에서 낮은 에너지 사용으로 높은 진공도를 제공합니다.
3. 안전 보호:자동 시작/정지, 과부하, 과전류 및 급수 차단 보호 기능을 갖춘 고급 제어 시스템으로 장기적인 안정성을 보장합니다.
4. 컴팩트한 설계:수직 적층 또는 사다리 구조로 설치 공간을 최소화하여 공간이 제한된 공장 및 실험실에 이상적입니다.
5. 유연한 구성:펌프 간 가변 펌핑 속도 비율(1:2 ~ 1:8)로 다양한 작업 요구사항에 대응합니다.
6. 내식성 성능:유출 표면은 부식 방지 처리 또는 부식 방지 소재로 제작되어 부식성 가스 추출 및 열악한 환경에서의 작동에 적합합니다.

적용 분야

• 화학 산업:휘발성 유기 용매 및 가스 추출, 진공 반응기용으로 사용되며 화학 및 제약 공정에서 널리 활용됩니다.
• 반도체 제조:진공 증착, 세정 및 식각 공정 지원.
• 식품 산업:식품 포장, 탈수 및 진공 건조 공정에 필수적입니다.
• 야금 산업:용융 공정 안정화를 위해 야금로 및 실험실 내 가스를 추출합니다.
• 실험실 및 과학 연구:과학 환경에서의 진공 실험 및 가스 회수에 이상적입니다.
• 전자 산업:집적 회로 제조, 진공 스크린 코팅 및 기타 전자 제조 공정에 사용됩니다.